ヘリウム回収状況監視システム


ウエスト2、3号館(工学部棟)



W2号館

W3号館





10F



905

93.5%
0.00m3/h





9F







8F






7F





6F





5F





4F






3F



206

93.8%
0.00m3/h





2F

小江研
星野研
星野研


109

100.5%
0.18m3/h



1F
110

100.7%
0.03m3/h
109 合算

99.7%
0.01m3/h
109 支流

100.2%
0.01m3/h
EN51


Heガス回収
サブセンター





B1F

Heガス回収
サブセンター



増設予定


低温センター


低温センター