ヘリウム回収状況監視システム

先導(筑紫)NMR棟

現在の状況
(2025/4/5 5:25)
純度 瞬時流量
102.1% 0.024m3/h
当月実績
積算流量 積算流量(液換算)
2.4m3 3.4L